ICP光譜儀的氣路系統(tǒng)及其附屬設(shè)施主要由氬氣氣源，氬氣包裝物、氬氣凈化機(jī)、氣路管道、干燥管、氣壓表和流量計(jì)組成。

   氬氣是一種無色、無味的惰性氣體、相對分子質(zhì)量39.938分子式為Ar。在標(biāo)準(zhǔn)下密度為1.784kg/m3。其沸點(diǎn)-185.7°C。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中，通常用灰色鋼瓶盛裝氬氣，液氬通常常用杜瓦罐盛裝。

   ICP光譜儀所用工作氣，在分析測試中的作用是：可與樣品溶液形成氣溶膠，可將形成樣品氣溶膠引入等離子炬，可對霧化器、霧化室、中心管起到清潔作用，可點(diǎn)燃等離子體和做等離子冷卻氣保護(hù)石英炬管不被高溫融化。因?yàn)闅鍤馐菬o色、無味、不易燃不易爆的氮原子惰性氣體，它不與試樣組份形成難離解的穩(wěn)定化合物，也不像分子那樣因離解而消耗能量，有良好的激發(fā)性能，本身光譜簡單。具有分析靈敏度高。使用安全、光譜背景較低，電阻率、熱容和熱導(dǎo)率最低等特點(diǎn)，因而造成作為工作氣，而且用氬氣做等離子氣可降低由于熱導(dǎo)散熱而造成的能量損失，提高等離子體的熱效應(yīng)；還有一點(diǎn)就是用氬氣做等離子體易于形成穩(wěn)定的高頻耦合等離子體光源，所以需要的高頻功率較低。如果使用氧氣或者氮?dú)鉃楣ぷ鳉猓麄儠沾蟛糠值脑刈V線，導(dǎo)致分析過程中的不穩(wěn)定和整體偏低。

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